技術(shù)編號：5265776
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光學(xué)掃描設(shè)備。背景技術(shù)在數(shù)字復(fù)印機(jī)、激光打印機(jī)、條碼讀取器、掃描儀或投影儀中廣泛地使用通過導(dǎo)致鏡面振蕩來掃描光線的光學(xué)掃描設(shè)備。隨著微制造(microfabrication)技術(shù)的最新發(fā)展，例示前述設(shè)備并且將微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)應(yīng)用其上的光學(xué)掃描設(shè)備已變成關(guān)注的焦點(diǎn)?；贛EMS技術(shù)、其中可以在半導(dǎo)體過程中一體地形成鏡面機(jī)制的光學(xué)掃描設(shè)備因此是有利的，因?yàn)榭梢詫⒃撛O(shè)備小型化。然而，當(dāng)鏡面尺寸(芯片尺寸)增加時(shí)，出現(xiàn)成本問題。具體地，一個(gè)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。