技術(shù)編號(hào):5266180
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本文公開(kāi)的主旨涉及基于半導(dǎo)體微機(jī)電的傳感器(MEMS),其可以用于檢測(cè)從機(jī)械應(yīng)力、化學(xué)機(jī)械應(yīng)力、熱應(yīng)力、電磁場(chǎng)等產(chǎn)生的小的力或撓曲。更具體地,本文公開(kāi)的主旨涉及用于防止這樣的傳感器腐蝕的方法和裝置。背景技術(shù)基于半導(dǎo)體微電子的傳感器的發(fā)展已經(jīng)極大地起到降低這樣的傳感器的尺寸和成本的作用。已經(jīng)很好地記載了硅微傳感器的電氣和機(jī)械性質(zhì)。硅微加工和半導(dǎo)體微電子技術(shù)已經(jīng)發(fā)展成具有許多實(shí)際應(yīng)用的極重要的傳感器產(chǎn)業(yè)。例如,廣泛地已知微加工的硅壓力傳感器、加速度傳感器、流量...
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