技術(shù)編號(hào)：5266504
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體，更具體地，涉及BioFET器件及其制造方法。背景技術(shù)生物傳感器是用于感測(cè)和檢測(cè)生物分子的器件并且基于電子、電化學(xué)、光學(xué)和機(jī)械檢測(cè)原理運(yùn)轉(zhuǎn)。包括晶體管的生物傳感器是電感測(cè)電荷、光子和生物實(shí)體(bio-entities)或者生物分子的機(jī)械性質(zhì)的傳感器?？梢酝ㄟ^(guò)檢測(cè)生物實(shí)體或者生物分子本身或者通過(guò)在指定的反應(yīng)物與生物實(shí)體/生物分子之間的相互作用和反應(yīng)來(lái)實(shí)施檢測(cè)。這種生物傳感器可以使用半導(dǎo)體工藝來(lái)制造、可以快速轉(zhuǎn)換電信號(hào)并且可以容易應(yīng)用于集成...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。