技術(shù)編號(hào)：5266797
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域，特別是涉及陽極鍵合裝置。技術(shù)背景陽極鍵合是微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域一種廣泛應(yīng)用的鍵合工藝，主要是實(shí)現(xiàn)金 屬與絕緣體之間的永久鍵合。其主要特點(diǎn)是在一定溫度下緊密貼和的兩個(gè) 樣片在靜電場(chǎng)的作用下形成永久貼和，最終得到新的符合材料。在操作的過程種，樣片之間貼和的好壞直接影響到鍵合的結(jié)果和質(zhì)量， 如果樣片之間貼和不均勻則可能導(dǎo)致最終鍵合失敗，因此設(shè)計(jì)能夠自動(dòng)進(jìn) 行調(diào)整的裝置可以有效的保證鍵合的順利完成?，F(xiàn)有技術(shù)中給出了一些幫 助樣片均勻貼合的調(diào)平裝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。