技術(shù)編號(hào)：5267042
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及數(shù)字鏡器件(DMD)。本發(fā)明被開發(fā)主要是為了提供一種可以用直接的 MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))制造步驟制造的改善的器件。背景技術(shù)數(shù)字微鏡器件(DMD)現(xiàn)在比較常見于諸如數(shù)據(jù)投影機(jī)之類的眾多光學(xué)設(shè)備中。在這樣的設(shè)備中，圖像由在半導(dǎo)體芯片(DMD)上排列成矩陣的多個(gè)微小的反射鏡生成。每個(gè)反射鏡表示所投影的圖像內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)像素。反射鏡的數(shù)目與所投影的圖像的分辨率相應(yīng)。DMD技術(shù)由德克薩斯儀器公司在二十世紀(jì)八十年代開發(fā)(例如，參見US 4，956，619...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。