技術(shù)編號：5267102
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及制造多層三維器件或結(jié)構(gòu)，特別涉及通過制造和連接多個獨立結(jié)構(gòu)層 而形成多層三維微器件或微結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)多層制造技術(shù)是目前最有發(fā)展前景的一種制造復(fù)雜三維微器件或微結(jié)構(gòu)的制造 技術(shù)。美國專利5，190，637和6，027，630提供了兩種使用多層電化學(xué)沉積來制造三維金屬 微器件或微結(jié)構(gòu)的制造方法。這兩種方法的共同點可歸納如下1.三維微器件或微結(jié)構(gòu)由連續(xù)的一層一層疊加的方法制得。2.每一層至少包含兩種材料，其中至少有一種結(jié)構(gòu)材料和一種犧牲材料。3.每一層...
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