技術編號：5267422
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種微型機械諧振器，尤其涉及一種使用扭轉(zhuǎn)振動體形成的微型機械 諧振器。背景技術近年來，開發(fā)出利用半導體領域的微細加工技術使微細機械構造與電路一體化而 形成的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems微電子機械系統(tǒng))技術，并探討了將其 向濾波器和諧振器的應用。其中，由這種MEMS技術作成的微型機械諧振器適合用于遙控車門開關系統(tǒng)、展布 頻譜通信等RF無線。利用了由這種MEMS技術作成的微型機械諧振器的MEMS濾波器的一...
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