技術(shù)編號：5267433
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器。更具體地說，本發(fā)明涉及用于MEMS 傳感器的可移動元件的懸掛的彈性構(gòu)件。背景技術(shù)許多設(shè)備和系統(tǒng)包括執(zhí)行各種監(jiān)測和/或控制功能的多個不同類型的傳感器。顯 微機械加工和其他微制造工藝的提高已經(jīng)導(dǎo)致各種各樣的微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器的制 造，以執(zhí)行這些監(jiān)測和/或控制功能。MEMS傳感器可以形成在包括基板(也稱為處理層)、覆蓋基板的諸如氧化物的絕 緣犧牲層以及覆蓋絕緣層的活性層的晶片上。通常，MEMS傳感器典型地包...
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