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      一體化微針陣列及其制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:5267441

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      本發(fā)明涉及一種制造微針陣列的方法。本發(fā)明還涉及一種微針陣列以及包括該 微針陣列的復(fù)合物。本發(fā)明另外還涉及一種穿過材料阻擋物輸送物質(zhì)的系統(tǒng)。本發(fā)明另 外還涉及一種使用電極測量電信號的系統(tǒng)。背景技術(shù)從WO 02/064193中可以獲知微針陣列的實施方式。已知的微針陣列包括一組 具有合適幾何形狀的微針,所述微針從底部支撐件凸起成為伸出平面的結(jié)構(gòu)。已知的微 針陣列可以使用用于制造集成電路、電子儀器組件和其他微電子裝置的傳統(tǒng)方法生產(chǎn), 其可以通過用在顯微機械加工和微...
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