技術(shù)編號(hào)：5267673
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù) 本發(fā)明涉及氣體傳感器，更具體地說，本發(fā)明涉及納米管傳感器。在使用納米管來做氣體檢測(cè)方面已做了一些嘗試。本申請(qǐng)以參照方式結(jié)合2002年3月18日提交的申請(qǐng)?zhí)枮?0/100,400題為“碳納米管傳感器”的美國專利申請(qǐng)。發(fā)明內(nèi)容在一定的氣體環(huán)境中，通過在納米管的連線或電極，將兩個(gè)可移動(dòng)指狀或臂狀支持件之間的溝橋接，以受控的方式現(xiàn)場(chǎng)生長(zhǎng)納米管?？梢灾瞥梢粋€(gè)可制造的基于MEMS(MEMS-base)技術(shù)的納米管傳感器。附圖說明圖1a和1b表示支持納米管的傳...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。