技術(shù)編號：5267750
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及的是一種微細加工的方法，具體地說，是一種。背景技術(shù) 目前用于制作高深寬比微結(jié)構(gòu)的微機械加工方法主要包括LIGA技術(shù)、深紫外線光刻、離子束刻蝕、激光刻蝕等，其中LIGA技術(shù)是最為先進的一種，但是由于該技術(shù)需要使用同步輻射光源和特制的掩膜板，加工周期長，費用成本高而受到限制；深紫外線光刻技術(shù)也是一種比較常用的微機械加工技術(shù)，它加工的結(jié)構(gòu)具有較低的粗糙度，但是由于深紫外線的衍射效應(yīng)，使得其加工的微結(jié)構(gòu)的深寬比比較小。另外幾種工藝都有其明顯的不足，如離子...
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