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      一種柔性電容式加速度傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):5269769

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      本實(shí)用新型涉及加速度測(cè)量,公開(kāi)了一種柔性電容式加速度傳感器,包括柔性基板;上電極,設(shè)于所述柔性基板的上表面;下電極,設(shè)于所述柔性基板的下表面;連接層,其包括上連接層和下連接層,所述上連接層設(shè)于所述柔性基板和上電極之間并連接所述柔性基板和上電極,所述下連接層設(shè)于所述柔性基板和下電極之間并連接所述柔性基板和下電極。本實(shí)用新型中將MEMS器件直接制作在柔性基板上,工藝和結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本較低,所制得的加速度傳感器可以應(yīng)用在任意類型、形狀及尺寸的物體表面上。專利說(shuō)明一...
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