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      步進(jìn)式全方位納米移動(dòng)平臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):5270060

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      本發(fā)明涉及微器件裝配技術(shù),具體地說(shuō)是一種用于微加工和生物細(xì)胞操作等的步進(jìn)式全方位納米移動(dòng)平臺(tái)。背景技術(shù)微納米移動(dòng)平臺(tái)是指具有納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度的微動(dòng)平臺(tái),它是微納米科技的重要組成部分,能夠?yàn)榧{米級(jí)測(cè)量、納米級(jí)裝配提供關(guān)鍵設(shè)備。目前的納米移動(dòng)機(jī)構(gòu)一般采用尺蠖機(jī)構(gòu)、慣性沖擊及慣性摩擦驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),前二者均只能實(shí)現(xiàn)單自由度運(yùn)動(dòng),要實(shí)現(xiàn)這些機(jī)構(gòu)的多自由度運(yùn)動(dòng)只能靠多個(gè)單自由度機(jī)構(gòu)的疊加,因而體積過(guò)大。慣性摩擦驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)雖然可以實(shí)現(xiàn)全方位的運(yùn)動(dòng),但是負(fù)載能力很小(約幾百克)。...
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