技術(shù)編號(hào):5270060
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微器件裝配技術(shù),具體地說(shuō)是一種用于微加工和生物細(xì)胞操作等的步進(jìn)式全方位納米移動(dòng)平臺(tái)。背景技術(shù)微納米移動(dòng)平臺(tái)是指具有納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度的微動(dòng)平臺(tái),它是微納米科技的重要組成部分,能夠?yàn)榧{米級(jí)測(cè)量、納米級(jí)裝配提供關(guān)鍵設(shè)備。目前的納米移動(dòng)機(jī)構(gòu)一般采用尺蠖機(jī)構(gòu)、慣性沖擊及慣性摩擦驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),前二者均只能實(shí)現(xiàn)單自由度運(yùn)動(dòng),要實(shí)現(xiàn)這些機(jī)構(gòu)的多自由度運(yùn)動(dòng)只能靠多個(gè)單自由度機(jī)構(gòu)的疊加,因而體積過(guò)大。慣性摩擦驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)雖然可以實(shí)現(xiàn)全方位的運(yùn)動(dòng),但是負(fù)載能力很小(約幾百克)。...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。