技術(shù)編號：5270179
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了具有自適應(yīng)性襯底間接合的MEMS結(jié)構(gòu)。公開了一種包含多個結(jié)合的襯底的MEMS結(jié)構(gòu)和形成該MEMS結(jié)構(gòu)的方法。示例性MEMS結(jié)構(gòu)包括具有底面的第一襯底和具有與第一襯底的底面基本上平行的頂面的第二襯底。第一襯底的底面通過錨固件與第二襯底的頂面連接，從而使得錨固件未延伸穿過第一襯底的底面或第二襯底的頂面。該MEMS結(jié)構(gòu)可以包括接觸第一襯底的底面并且被塑造成至少部分地包圍錨固件的接合層。專利說明具有自適應(yīng)性襯底間接合的MEMS結(jié)構(gòu)[0001]本發(fā)明大體...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。