技術(shù)編號：5270294
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。公開了用于測量力的裝置和制造其的方法。該裝置包括隔膜腔內(nèi)的凸起結(jié)構(gòu)，其中該凸起結(jié)構(gòu)具有大致上平行的側(cè)壁。一個或多個傳感器靠近隔膜安裝來感測隔膜中的撓曲，其受該凸起結(jié)構(gòu)控制。專利說明[0001]本文公開的主題涉及基于半導(dǎo)體微機(jī)電的傳感器(MEMS)，其用于檢測從機(jī)械應(yīng)力、化學(xué)機(jī)械應(yīng)力、熱應(yīng)力、電磁場等產(chǎn)生的小的力或撓曲。更具體地，本文公開的主題涉及用于感測壓力的裝置和制造其的方法。背景技術(shù)[0002]基于半導(dǎo)體微電子的傳感器的發(fā)展已經(jīng)極大地降低這樣的傳感器的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。