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      一種基于碳納米管的紅外成像探測器及其制備方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:5270688

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      本發(fā)明公開。該紅外成像探測器包括襯底;若干一維半導體碳納米管或者半導體性碳納米管薄膜條帶,位于所述襯底上;非對稱接觸電極,包含呈相間排布的叉指狀電極結(jié)構(gòu)的若干第一電極和若干第二電極。該方法首先采用蒸發(fā)驅(qū)動自組裝的方法在襯底上排列若干一維半導體碳納米管或者若干半導體性碳納米管薄膜條帶;然后在其上形成第一電極和第二電極及其金屬連接線的圖案形狀,并蒸鍍電極的金屬層。本發(fā)明通過并聯(lián)方式提高紅外探測器的輸出光電流,減小器件電阻,器件的制備工藝簡單,無需摻雜即可實現(xiàn)紅...
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