技術編號：5270863
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提供了一種微機電系統(tǒng)及檢測電路，通過檢測電路中的自測試電容陣列輸出周期變化的電荷，由此當進行檢測電路的自測試時，通過所述自測試電容陣列輸出的周期變化的電荷即可進行，從而避免了需要檢測電路驅(qū)動模塊產(chǎn)生高壓驅(qū)動信號使微機械傳感器中的微機械自測試電容輸出自測試需要的周期電荷信號，由此檢測電路的自測試過程不再需要微機械傳感器參與，簡化了檢測電路的自測試流程，并提高了自測試可靠性；同時，微機械傳感器中也不再需要微機械自測試電容了，從而降低了微機械傳感器設計...
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