技術編號：5271635
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于微機電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystem；MEMS)的鏡面(mirror)技術，特別是關于一種使用鎢保護層來防止因金屬突穿(metal-spiking)造成鏡面結構的橋接、并改善鏡面結構的曲率的鏡面制程(mirror process)。背景技術 在各項應用產品中，例如用于直接顯示(direct view)與投影顯示屏幕的感應器、加速度計(accelerometer)、電動開關(electrical switch)、光...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
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