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      微波誘導(dǎo)摻雜物氧化制備氧化鋅納米晶體的方法和裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:5271641

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      本發(fā)明屬于陶瓷材料,涉及氧化鋅納米晶體的制備方法和裝置,特指一種采用微波誘導(dǎo)摻雜物氧化制備氧化鋅納米晶體的方法和裝置。背景技術(shù)常見的氧化鋅納米晶體制備技術(shù)是采用物理氣相沉積法(PVD)、化學(xué)氣相沉積法(CVD)、脈沖激光沉積法(PLD)等方法將金屬鋅粉的溫度升高,使鋅粉汽化,和反應(yīng)管(反應(yīng)爐)中的氣體O2發(fā)生反應(yīng),然后保溫一段時間后恢復(fù)到室溫,氧化鋅晶體沉積到基底(比如硅片)上。如果在反應(yīng)過程中摻雜一些其他的金屬離子作為添加劑或者催化劑,生成的ZnO納米晶...
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