技術(shù)編號：5271715
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微慣性器件，尤其是涉及。背景技術(shù)在微米/納米技術(shù)這一引人注目的前沿技術(shù)背景下，慣性也經(jīng)歷著深刻的變化，以集成電路工藝和微機(jī)械加工工藝為基礎(chǔ)制作的各種微器件和微機(jī)電系統(tǒng)不斷出現(xiàn)，微型慣性測量組合成為其中典型性、代表性的成果。在微慣性器件中，以梳狀結(jié)構(gòu)最為典型，如懸浮結(jié)構(gòu)的梳狀制動器，利用靜電力驅(qū)動使得懸浮結(jié)構(gòu)產(chǎn)生位移，以作為其他微結(jié)構(gòu)的動力源。另一例，如加速度計，因外力使得懸浮的質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)產(chǎn)生位移而改變電極板間原有的電荷量，進(jìn)而測得加速度計所處系統(tǒng)...
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