技術(shù)編號(hào)：5271762
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種MEMS (微電子機(jī)械系統(tǒng))制造技術(shù)，尤其涉及一種。背景技術(shù)目前低膨脹玻璃、石英和藍(lán)寶石等材質(zhì)的三維曲面微結(jié)構(gòu)(譬如具有球面、半球面、圓柱面和圓環(huán)面輪廓的殼狀結(jié)構(gòu)等)在MEMS封裝(譬如MEMS陀螺儀、原子鐘等)、微流體和MOEMS(微光學(xué)機(jī)電系統(tǒng))等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用。制備玻璃微腔的方法主要有自膨脹法和正壓熱成型方法.例如美國(guó)加州大學(xué)埃爾文分校采用自膨脹方法加工玻璃微腔。它需要深反應(yīng)離子刻蝕工藝和加厚的硅片，成本較高。此外，由于驅(qū)動(dòng)力較小，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。