技術(shù)編號(hào)：5271767
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種電容式濕度傳感器的制備方法，具體來說，涉及。背景技術(shù)濕度傳感器廣泛應(yīng)用于氣象檢測(cè)、農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、工業(yè)控制、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域。近年來，濕度傳感器的發(fā)展越來越趨向于微型化?，F(xiàn)有的微型濕度傳感器類型主要包括電容式、電阻式、壓阻式及微電子機(jī)械系統(tǒng)(微電子機(jī)械系統(tǒng)，英文為Micro-Electronic-MechanicalSystems，文中簡(jiǎn)稱MEMS)等。目前無線遙測(cè)傳感器包括兩大類有源遙測(cè)和無源遙測(cè)。有源遙測(cè)是指?jìng)鞲邢到y(tǒng)中帶有電源，這種遙測(cè)方式可以雙...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。