技術(shù)編號：5272094
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及硅系列材料的加工技術(shù)和硅系列構(gòu)造體的制造技術(shù)。在本說明書中，所謂硅系列材料是指單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等。所謂硅系列構(gòu)造體是指制造中或制造后包含硅系列材料的構(gòu)造體。在硅系列構(gòu)造體中也可包括硅系列材料以外的材料。背景技術(shù) 由于半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，開發(fā)出各種硅系列材料的加工技術(shù)。通過應(yīng)用該硅系列材料的加工技術(shù)，不只是MOS(Metal OxideSemiconductor)等半導(dǎo)體元件，還可制造出帶有傳感器或促動器等功能的各種硅系列構(gòu)造體。在...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。