技術(shù)編號(hào)：5286661
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于銅電鍍?cè)〉囊活愋碌奶砑觿?。更具體地說，本發(fā) 明涉及一種用于銅電鍍?cè)〉囊活愋碌谋砻婊钚砸种苿鲢~電鈹浴川丁 制造平滑且光亮的銅電沉積物以及用于制造半導(dǎo)體銅互連線。背景技術(shù)根據(jù)用途的不同，每一種電解銅沉積物必須具有特定的性質(zhì)。通常在 銅電鍍?cè)≈屑尤肴舾蔁o機(jī)或有機(jī)的添加劑以獲得具有這些所需性質(zhì)的沉積 物。銅電鍍?cè)≈械纳倭拷M分通常被稱為添加劑。為了在最初具有凹槽的表面獲得平滑且光亮的電解銅沉積物，根據(jù)經(jīng) 驗(yàn)，必須向電解液中加入添加劑的組合，例...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。