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      半導(dǎo)體材料的電解拋光裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):5287490

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      本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體材料的電解拋光裝置,屬于半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域。背景技術(shù)電解拋光(陽(yáng)極光亮)技術(shù)早在1911年由俄國(guó)學(xué)者許賓塔斯基發(fā)明,它是利用陽(yáng)極腐蝕法使 試樣表面變得平滑光亮的一種方法。當(dāng)電流密度足夠時(shí),試樣表面由于電化學(xué)作用而發(fā)生選擇性 溶解,材料表面微小凸出部分溶解到溶液中,從而變得光滑平整。該方法避免了機(jī)械拋光時(shí)可能 引起的殘余應(yīng)力和表層塑性變形,從而能更確切地顯示材料的真實(shí)組織。電解拋光廣泛用于金屬 材料的拋光。高光潔度的金屬材料樣品更需要...
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      • 鐘老師:功能配合物能源催化轉(zhuǎn)化
      • 余老師:設(shè)計(jì)和制備新能源電極材料研究材料在氫氣、氧氣、二氧化碳等能源小分子電催化轉(zhuǎn)化中的應(yīng)用,通過(guò)先進(jìn)表征手段和理論模擬計(jì)算理解催化位點(diǎn)和反應(yīng)機(jī)理,力圖發(fā)展幾種具有應(yīng)用前景的電催化劑材料。
      • 匙老師:多酸團(tuán)簇、金屬有機(jī)框架材料的合成性能研究與計(jì)算模擬,主要包括: 1.多酸團(tuán)簇-無(wú)機(jī)晶核共組裝進(jìn)行光催化分解水制氫與二氧化碳還原; 2.低維多孔材料的結(jié)構(gòu)與催化性能的研究。
      • 羅老師:低維納米材料(納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料)的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結(jié)果的先進(jìn)能源材料設(shè)計(jì)、制備和器件應(yīng)用。
      • 焦老師:新能源材料設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究。主要包括:1二氧化碳電催化還原、電催化分解水制氫等;2原子界面電極材料的制備及能量轉(zhuǎn)換技術(shù)研究。
      • 蔣老師:以儲(chǔ)能和能量轉(zhuǎn)化為導(dǎo)向的功能材料及器件研究,包括:鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學(xué)電源
      • 丁老師:1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
      • 孫老師:1. 仿生分離技術(shù)的開發(fā) 2. 光化學(xué) 3. 仿生催化體系的設(shè)計(jì)及作用機(jī)理研究 4. 仿生材料的設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究