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技術(shù)編號：5288368

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本發(fā)明涉及一種用于N型或P型硅片的光助電化學(xué)刻蝕裝置，能對大面 積硅片進(jìn)行長時(shí)間的均勻濕法深刻蝕，屬于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域。背景技術(shù)基于硅材料的高深寬比微細(xì)結(jié)構(gòu)的制作，在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、光子晶 體、微傳感器、X射線成像器件、生物工程芯片和太陽能電池和側(cè)向外延襯 底等有著重要的地位。目前國內(nèi)硅基HARMS的加工方法主要有三 種。第一種方法是激光微加工，適合于加工分立的單個(gè)通孔。其不足之處在 于串行操作、效率低、對位精度差，不適合于大規(guī)模陣列的制...
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• 鐘老師：功能配合物能源催化轉(zhuǎn)化
• 余老師：設(shè)計(jì)和制備新能源電極材料研究材料在氫氣、氧氣、二氧化碳等能源小分子電催化轉(zhuǎn)化中的應(yīng)用，通過先進(jìn)表征手段和理論模擬計(jì)算理解催化位點(diǎn)和反應(yīng)機(jī)理，力圖發(fā)展幾種具有應(yīng)用前景的電催化劑材料。
• 匙老師：多酸團(tuán)簇、金屬有機(jī)框架材料的合成性能研究與計(jì)算模擬，主要包括： 1.多酸團(tuán)簇-無機(jī)晶核共組裝進(jìn)行光催化分解水制氫與二氧化碳還原； 2.低維多孔材料的結(jié)構(gòu)與催化性能的研究。
• 羅老師：低維納米材料（納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料）的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結(jié)果的先進(jìn)能源材料設(shè)計(jì)、制備和器件應(yīng)用。
• 焦老師：新能源材料設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究。主要包括：1二氧化碳電催化還原、電催化分解水制氫等；2原子界面電極材料的制備及能量轉(zhuǎn)換技術(shù)研究。
• 蔣老師：以儲能和能量轉(zhuǎn)化為導(dǎo)向的功能材料及器件研究，包括：鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學(xué)電源
• 丁老師：1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 孫老師：1. 仿生分離技術(shù)的開發(fā) 2. 光化學(xué) 3. 仿生催化體系的設(shè)計(jì)及作用機(jī)理研究 4. 仿生材料的設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究