專利名稱：一種傳輸外殼的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實施例涉及傳輸襯底架的傳輸固定裝置和封裝。
背景技術(shù)：
在用以形成顯示板和半導(dǎo)體的襯底生產(chǎn)期間，襯底架可以用于保持一 批襯底。例如，如晶片處理舟(boat)之類的襯底架具有一系列垂直定位 的狹槽，每個該狹槽都能夠保持半導(dǎo)體晶片。圖1中圖示了能夠?qū)雽?dǎo)體 晶片保持在沉積室中的示例性襯底架10。該襯底架10包括數(shù)個石墨盤 20，該石墨盤20由間隔件30分開并通過金屬桿40保持在一起，該金屬桿 40通過間隔件30連接到基板50和頂板60上。架部件20、 30、 40和50 可以用如碳化硅之類的陶瓷涂覆，以保護(hù)它們免于受到沉積環(huán)境影響，并 防止來自襯底架10的污染物進(jìn)入襯底處理室。襯底架IO可以放置在沉積 室中，如化學(xué)汽相沉積(CVD)室，用于將如多晶硅、非晶硅或二氧化硅 之類的材料沉積在襯底疊層上。在該處理中，含硅氣體導(dǎo)入到CVD室 中，并且產(chǎn)生等離子體，同時襯底架IO轉(zhuǎn)動和受熱。當(dāng)示例性襯底架用 于說明這種架時，應(yīng)當(dāng)理解的是，在如物理汽相沉積室(PVD)、蝕刻室 和注入室之類的其它襯底處理設(shè)備或方法中使用的襯底架也可以使用。
在使用中，在幾個處理循環(huán)之后，對架IO進(jìn)行清潔或修理，以去除 積聚的處理沉積物。例如，在典型的CVD處理中，沉積在襯底上的CVD 材料也沉積在襯底架IO上。在數(shù)個CVD處理循環(huán)之后，CVD材料層堆積 在襯底架10上。如果沉積物從襯底架上剝離，則沉積物的這種堆積層可 能污染CVD室和襯底。因此，周期性地從襯底架IO上去除沉積材料，以修理和清潔襯底架，用于在下一處理循環(huán)中使用。
通常，襯底架被封裝和運輸?shù)窖b置外(off-site)的清潔設(shè)備，用于清 潔或修理架10。然而，對架10的傳輸具有幾個問題。首先，組裝的襯底 架較重，經(jīng)常在大約50至100磅之間，而且易碎，這使得難以對它進(jìn)行 不破碎地運輸。同時，架IO對周圍環(huán)境非常敏感，并在暴露到空氣中時 能夠受到蝕刻或腐蝕。同時，形成在架10上的沉積物可以是對操縱者有 毒或有害的。于是，在運送到清潔地點之前，通常在襯底架10上沉積包 括不摻雜硅的薄密封層，以保護(hù)操縱者免于暴露到架上的沉積物。然后， 襯底架10包裹到空氣緩沖的"氣泡包裹"中，并放置到用于運輸?shù)哪举|(zhì) 板條箱中。由于襯底架IO非常易碎，所以必須在一個位置進(jìn)行傳輸，即 其縱軸在垂直方向；否則，襯底架的易碎部件能夠碎裂或斷裂。所有這些 傳輸問題的解決方法都增加了清潔和修理架IO的成本。
在傳輸?shù)角鍧嵉攸c的過程中，包括襯底架10的板條箱可能受到移民 或執(zhí)法人員的檢査。為了進(jìn)行檢查，執(zhí)法人員通常打開板條箱并去除氣泡 包裹，以確認(rèn)板條箱中不包括違禁品。在檢查之后，襯底架10重新封裝 并傳輸?shù)角鍧嵉攸c。在清潔地點處，襯底架在酸浴池中放置幾個小時，以 去除沉積材料層。到現(xiàn)在為止，襯底架10是組裝的，因為沉積材料層將 襯底架的部件膠合在一起，并且襯底架在不損傷部件的情況下無法拆卸。 在第一次酸浴之后，沉積層去除并且襯底架的部件變?yōu)?脫膠的"。然 后，將襯底架IO拆卸，再次進(jìn)行清潔，并在大約40(TC下烘干大約十 (10)個小時。 一旦干燥之后，將拆卸整理的部件封裝并運回消費地點， 在消費地點處，襯底架10重新組裝并準(zhǔn)備使用。
在上述傳輸和修理過程期間，大比率的襯底架10受到不可修復(fù)的損 害。例如，當(dāng)襯底架10封裝時，即包裹在氣泡包裹中并放置在板條箱 中、打開封裝或重新封裝時，例如在消費地點、在檢査期間和在清潔地 點，襯底架10的部件上的碳化硅涂層可以很容易地碎裂或斷裂，使得部 件無法使用。如果板條箱在傳輸期間傾斜或跌落，則易碎的部件能夠破裂 或碎裂。在重新組裝襯底架方面，當(dāng)通常沒有經(jīng)驗和不熟練的實驗技術(shù)人 員重新組裝襯底架時，襯底架10可能在消費地點受到損傷。除了損傷襯底架之外，當(dāng)部件破裂或碎裂時，操縱者和/或檢查人員可能暴露在薄密 封層下面的有毒材料。
于是，期望能夠有效地將襯底架10從無塵室傳輸?shù)角鍧嵒蜓b置外設(shè)
備，進(jìn)行清潔或修理。也期望在封裝、打開封裝和傳輸過程期間使襯底架
10的斷裂最小化。還期望在不損傷部件的情況下，有效地清潔架10。還
期望在處理和傳輸期間，保護(hù)操縱者免于暴露在架上的沉積物。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種傳輸外殼，其可以在傳輸中保護(hù)傳輸 固定裝置。
根據(jù)本實用新型， 一種傳輸外殼，包括第一托盤，其具有封閉末端 和帶有第一圓周凸緣的開放末端，所述第一托盤的至少一部分包括透光材 料；第二托盤，其包括封閉末端和帶有第二圓周凸緣的開放末端，并且所 述第二圓周凸緣與所述第一圓周凸緣配合，使得所述第一托盤和所述第二 托盤的所述開放末端彼此面對；及所述第一圓周凸緣和所述第二圓周凸緣 之間的密封墊圈，以在所述第一圓周凸緣和所述第二圓周凸緣之間形成密 封。
在上述方案中，傳輸外殼在運輸和處理過程中可以用作傳輸固定裝置 的保護(hù)容器。例如，傳輸外殼的內(nèi)容物可以在不打開外殼或破壞密封的情 況下可視檢査。因此，傳輸固定裝置和傳輸固定裝置的內(nèi)容物可以由傳輸 外殼所保護(hù)。


對于下面的描述、所附權(quán)利要求和說明本發(fā)明的示例的附圖，本發(fā)明 的這些特征、方面和優(yōu)點將變得更加容易理解。然而，應(yīng)當(dāng)理解的是，每 個特征都基本可以在本發(fā)明中，而不僅僅是在特殊附圖的內(nèi)容中使用，并 且本發(fā)明包括這些特征的任意組合，其中
圖l (現(xiàn)有技術(shù))是襯底架的實施例的透視圖2是用于圖1的襯底架的傳輸固定裝置的實施例的透視圖；圖3是圖2的傳輸固定裝置的透視圖，它封閉圖l的襯底架；
圖4是圖2的傳輸固定裝置的分解透視圖5是本發(fā)明的另一版本所述傳輸固定裝置的實施例的透視圖6是封閉傳輸固定裝置的外殼的實施例的透視圖，也示出了在內(nèi)部 具有泡沫以容納外殼的硬箱體；
圖7是所示外殼的另一實施例的透視圖，它封閉傳輸固定裝置，并示 出了用于結(jié)合外殼的托盤的緊固件的細(xì)節(jié)；
圖8是所示外殼的又一實施例的透視圖，它封閉傳輸固定裝置；
圖9是具有排氣端口和清掃用氣體端口的外殼的實施例的剖視側(cè)視
圖IOA是圖9的外殼的排氣端口耦合裝置的剖視側(cè)視圖；及 圖IOB是排氣端口耦合裝置的另一實施例的剖視側(cè)視圖； 圖11是圖9的外殼的清掃用氣體端口的剖視側(cè)視圖；及 圖12A和12B是適合于傳輸外殼的硬箱體的透視側(cè)視圖。
具體實施方式
包括傳輸固定裝置的傳輸封裝可以用于將襯底架10從一個室傳輸?shù)?另一個室或從一個設(shè)備傳輸?shù)搅硪粋€設(shè)備，如圖1中所示。例如，傳輸封 裝可以用于將在沉積室中使用之后的架IO傳輸?shù)胶线m的設(shè)備中，用于清 潔或修理。該傳輸封裝在運送和處理器間起到用于傳輸固定裝置的保護(hù)性 容器的作用，并也可以用于此處說明的固定裝置之外的其他固定裝置。在 修理過程期間，例如封裝和打開封裝、在酸或其他清潔浴中和在干燥烘箱 或爐中，傳輸固定裝置也可以用于保持易碎的架10。該傳輸固定裝置可以 用于將襯底架IO保持在傳輸封裝中，或用于將架IO傳輸至同一建筑中的 另一個房間。在經(jīng)過本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的適當(dāng)修改的情況下，傳輸封裝 和固定裝置也都可以用于傳輸除了此處說明的示例性架10之外的其它 架。于是，本發(fā)明的范圍不應(yīng)當(dāng)局限于此處所述的傳輸封裝、固定裝置和
架的說明性實施例。
在圖2中圖示了用于保持襯底架10的示例性傳輸固定裝置200。在一個版本中，襯底架10由傳輸固定裝置200封閉和保護(hù)。該傳輸固定裝置 200可以重新使用并也可以用于將完全拆卸的襯底架IO返還給用戶。傳輸 固定裝置200包括頂部端板210a和底部端板210b，它們通過數(shù)個支柱220 彼此連接。端板210a、 210b和支柱220形成限定襯底架10的機(jī)殼，如圖 3中所示。端板210a、 210b和支柱220可以用化學(xué)惰性的非金屬材料和耐 高溫材料制造，如聚四氟乙烯PTFE (商業(yè)上稱為Teflon )，從而傳輸固 定裝置200能夠經(jīng)受清潔或修理處理，并也可以用于返回經(jīng)過修理和重新 裝配的襯底架10。
在一個版本中，底部端板210b包括防撞擊滑板230，它防止襯底架 10在裝載和卸載過程期間從固定裝置200上滑脫。當(dāng)架10具有突出的末 端部分(未示出)時，端板210a、 210b也可以具有形狀如肋板、島狀物、 臺面或隆起物的升高的緩沖器(也未示出)，該緩沖器位于面對架10的 表面232上，以防止襯底架IO和端板210a、 210b之間的接觸。當(dāng)裝載和 卸載襯底架10時，該升高的緩沖器也幫助將架IO保持在垂直位置處。該 升高的緩沖器可以耦合到、或整體形成在端板210a、 210b的表面上。
每個端板210a、 210b都可以包括加強(qiáng)結(jié)構(gòu)240，如滑塊、支架或角 板，以增強(qiáng)端板210a、 210b的剛性并提供其他功能，如用于提起和保持傳 輸固定裝置200的裝置。例如，加強(qiáng)結(jié)構(gòu)240可以包括孔243，該孔能夠 起到用于連接把手或其他承載帶的手指孔或裝置的作用。類似于升高部分 230，加強(qiáng)結(jié)構(gòu)240可以耦合到、或整體形成于端板210a、 210b上。而 且，端板210a、 210b能夠提供開口 250，以利于清潔溶液(即，酸)在襯 底架IO的部件上流動。
耦合端板210a、 210b的支柱220a-c定位使得，襯底架IO牢固地保持 在支柱220a-c之間，如圖3中所示。在一個版本中，端板210a、 210b為 三角形，并具有足夠尺寸，以支承襯底架10。三角形需要較少的材料，以 提供同樣的支撐，并占用較少空間，從而允許在一個容器中運送更多端板 210a、 210b。
參照圖4，當(dāng)端板210a、 210b為三角形時，端板210a、 210b具有頂 端212a-f，并且支柱220a-c可以結(jié)合到三角形端板210a、 210b的頂端212a-f上，以使得支柱220a-c之間的空間最大化。三角形頂部和底部端板 210a、 210b也可以在它們的頂端212a-f處具有狹槽214a-f，以容納支柱 220a-c。然而，在端板210a、 210b不為三角形的版本中，狹槽214a-f可以 位于拐角和/或邊緣處。
如圖所示，在本版本中，每個支柱220a、 220b、 220c都分別由一對結(jié) 合的條帶222a-b、 222c-d和222e-f制成。每個條帶222a、 222c、 222e都具 有與其他條帶222b、 222d、 222f的內(nèi)部表面224b、 224d、 224f接觸的內(nèi) 部表面224a、 224c、 224e。每個條帶222a-f也都分別沿著內(nèi)部邊緣228a-f 具有縱向凹槽226a-f。當(dāng)縱向凹槽226a-f彼此對準(zhǔn)時，它們結(jié)合形成內(nèi)部 溝槽，加強(qiáng)桿232可以定位在該內(nèi)部溝槽中。在一個版本中，加強(qiáng)桿232 對支柱220進(jìn)行加強(qiáng)，并可以是不銹鋼桿。由于加強(qiáng)桿232至少部分由溝 槽封閉，所以它得到保護(hù)免于受到修理過程期間使用的腐蝕性溶液蝕刻。 為了確保該保護(hù)，條帶222可以通過常規(guī)惰性耐熱密封劑結(jié)合，如陶瓷或 環(huán)氧密封劑。
如圖所示，每個條帶222都具有內(nèi)部縱向邊緣228a-f，該邊緣面對固 定裝置200的內(nèi)部，即朝向襯底架IO。該縱向邊緣228可以是窄的(如圖 所示)或?qū)挼?未示出)。在一個版本中，縱向邊緣228a-f沿著結(jié)合的縱 向邊緣222b容納適應(yīng)性緩沖器234a-c。通過使內(nèi)部縱向邊緣228成杯形， 適應(yīng)性緩沖器234被牢固連接。在一個版本中，緩沖器234可以經(jīng)過用高 溫硅酮密封劑密封的不銹鋼螺釘連接。于是，簡化了緩沖器234的維護(hù)和 更換。在另一版本中，縱向邊緣228可以基本是平直的，并且適應(yīng)性緩沖 器234通過化學(xué)惰性的耐熱粘合劑連接到縱向邊緣228上。在一個版本 中，適應(yīng)性緩沖器234可以是聚合體管，如在開放末端密封的低硬度計橡 膠、彈性體條帶、或由另一適應(yīng)性非吸收性化學(xué)惰性材料制成的條帶。在 另一版本中，緩沖器234能夠包括隆起物或其他紋理構(gòu)造，以固定盤20。 在另一版本中，緩沖器234可以是保持和緩沖襯底架10的氣動的氣囊。 具有支柱220和適應(yīng)性緩沖器234的固定裝置200固定、保護(hù)和緩沖襯底 架10，尤其是石墨盤20。 一旦襯底架10固定地裝載到傳輸固定裝置200 中，則支柱220a-c上的適應(yīng)性緩沖器234a-c允許襯底架10在不損傷其部件的情況下放置在任意位置，例如水平地。
參照圖2和4，頂部端板210a和底部端板210b通過支柱220彼此連 接。至少其中一個端板210a、 210b包括繞著至少一個狹槽214設(shè)置的數(shù)對 鉸接塊242 (圖2)。鉸接塊242可以耦合到、或整體形成在端板210a、 210b上。 一對鉸接塊242具有面對的側(cè)壁，該側(cè)壁包括與支柱220中的孔 221對準(zhǔn)的開口241。當(dāng)對準(zhǔn)時，銷244插過開口 241和孔221，以將支柱 220經(jīng)過鉸接塊242保持在板210a上，如圖4中所示。在一個版本中，每 個銷244也可以耦合到手柄246上，該手柄246允許銷244很容易地插入 或去除，并也防止銷244不可逆地滑脫。而且，手柄246可以經(jīng)過尼龍帶 包裹(未示出)固定到加強(qiáng)結(jié)構(gòu)240上，該尼龍袋包裹例如插過加強(qiáng)結(jié)構(gòu) 240和手柄246中的孔。類似于端板210a、 210b和支柱220，銷244和手 柄246也可以用化學(xué)惰性的耐熱材料制造，如PTFE (Teflon )。優(yōu)選 地，銷244用Teflon⑧制成，它也提供低摩擦和低磨損的鉸接軸，如下面解 釋的那樣。
在一個版本中，銷244起到鉸接的作用，使得如果去除將支柱220的 一端連接到一個端板上(例如底部端板210b)的銷244，貝ij支柱220能夠 繞著將支柱220的另一端連接到頂部端板210a上的銷244轉(zhuǎn)動。這打開并 允許很容易地接觸傳輸固定裝置200的內(nèi)部。支柱220的一個或兩個末端 可以以這種方式鉸接。另外， 一個或多個支柱220可以鉸接，而其他支柱 固定地連接到端板210a、 210b上。
由于傳輸固定裝置200優(yōu)選地由非金屬、化學(xué)惰性和清潔材料制成， 所以襯底架10可以直接從沉積室放置在傳輸固定裝置200中。為了有利 于此，僅通過去除將支柱220連接到頂部端板210a上的銷244并向外轉(zhuǎn)動 支柱220以允許襯底架10下降到傳輸固定裝置200的底部端板210b上， 可以完全去除其中一個端板，例如頂部端板210a。這樣，支柱220可以封 閉并重新連接到頂部端板210a上。
在傳輸固定裝置200的另一版本中，端板210a、 210b被分別成形作為 架IO頂部的頂部支承框架710a和襯底架IO底部的底部支承框架710b， 如圖5中所示。每個支承框架710a、 710b都包括平的中心輪轂712和從該輪轂712的中心徑向延伸的數(shù)個平的臂714。在兩個相鄰臂714之間形成 的角度取決于平的臂714的數(shù)量。在一個版本中，三(3)個平的臂714 在水平面中彼此以120°等距離間隔開。每個臂714都包括用于容納和固 定剛性支柱220的狹槽716。盡管圖5中未示出，但是每個臂714也可以 包括上述鉸接塊242，以將支柱220固定到支承框架710a、 710b上。
傳輸固定裝置200提供剛性支撐，從而襯底架10不會受到扭轉(zhuǎn)力或 法向力，當(dāng)架10傳輸?shù)叫蘩碓O(shè)備和從修理設(shè)備傳輸時，該扭轉(zhuǎn)力或法向 力能夠?qū)е滤鼣嗔选６?，由于傳輸固定裝置200由化學(xué)惰性、非金屬并 耐熱的材料制成，所以傳輸固定裝置200可以與襯底架10 —起放置在清 潔溶液中和在高溫下烘干，而不損傷自己、襯底架10、酸浴池或烘箱。因 此，在修理過程期間，傳輸固定裝置200可以用于保護(hù)襯底架10，直到襯 底架IO準(zhǔn)備拆卸為止。而且，在襯底架10的部件已經(jīng)由熟練的技術(shù)人員 完全清潔干燥并重新組裝之后，傳輸固定裝置200可以重新用于將完全修 理和組裝的襯底架IO傳輸給用戶。由于襯底架10以組裝狀態(tài)返回，所以 減小了實驗室工作人員在試圖重新組裝部件時弄碎襯底架IO可能性。
在一個版本中，傳輸固定裝置200放置在外殼800a中，以形成傳輸封 裝802，該傳輸封裝在運送期間進(jìn)一步保護(hù)傳輸固定裝置200和襯底架 10。在一個實施例中，如圖6中所示，外殼800a包括圓柱形的第一和第二 托盤850、 860，當(dāng)組裝在一起時，它們彼此相對和面對，以在它們之間形 成空腔。此處所述外殼800a只是本發(fā)明所述的示例性實施例，并不應(yīng)當(dāng)用 于限制本發(fā)明的范圍。例如，托盤也可以成形為矩形盒子狀，或者甚至成 形為半球形拱頂。托盤850、 860用在傳輸期間足以承受外部撞擊的剛性 材料制成。托盤850、 860也可以包括如肋板之類的加強(qiáng)特征，以硬化其 結(jié)構(gòu)。托盤850、 860優(yōu)選地具有光滑的、彈性的和非粒狀表面，當(dāng)與傳 輸固定裝置200的表面摩擦?xí)r，該表面不釋放單個的顆粒。優(yōu)選地，托盤 850、 860的表面是連續(xù)的、不間斷的和無孔的，并沒有在封裝和打開傳輸 固定裝置200時能夠剝離的單個顆粒。在一個版本中，例如，托盤850、 860的光滑和彈性表面能夠具有小于10微英寸的均方根粗糙度。托盤 850、 860的表面也應(yīng)當(dāng)是可清洗的，從而在將外殼800a導(dǎo)入到粒子控制環(huán)境中之前可以將污染物消除。
組裝的一對托盤850、 860起到封閉固定裝置200和襯底架10的自立 容器的作用，甚至能夠具有內(nèi)置把手(未示出)，以將固定裝置200直接 傳輸?shù)叫蘩憝h(huán)境中或傳輸?shù)絻艋抑?。組裝的這對托盤850、 860在密封 和穩(wěn)定環(huán)境下也能夠在凈化室中存儲一段時間，并且只在襯底架10需要 在處理室中馬上使用時打開，從而進(jìn)一步減少襯底架10在托盤850、 860 中的任何污染。
托盤850、 860可以包括連續(xù)的圓周凸緣852a、 852b，該圓周凸緣繞 著托盤850、 860的外周邊緣形成。密封襯墊(未示出)可以放置在托盤 凸緣852a、 852b之間，以提供組裝的托盤850、 860之間的緊密密封，從 而保護(hù)襯底架10和傳輸固定裝置200免于受到污染物污染。圓周凸緣 852a、 852b減小了密封兩個托盤850、 860所需要的氣密密封的長度。同 樣，當(dāng)從頂部托盤850提升，以提供接觸在外殼800a中的傳輸固定裝置 200和架10時，圓周凸緣852a、 852b允許外殼垂直定位。當(dāng)固定裝置200 和架10放置到外殼中或從外殼中去除需要保持在垂直定向時，本版本是 有利的。
優(yōu)選地，至少外殼800a的一部分由剛性材料制成，該材料也是透光 的，以允許可視檢査保持在內(nèi)部的襯底架10。如本說明書中所使用的那 樣，透光指的是允許至少某些波長的光通過該材料的材料，如透明的、半 透明的、渾濁的或部分不透明的材料。例如，合適的透光材料能夠具有至 少大約20%的可見光透射率。外殼800a也可以進(jìn)行表面拋光，以增強(qiáng)透 射光和觀察的清晰性。外殼800a也可以完全由透光材料制成，或者只有外 殼的一部分可以用透光材料制成，如窗口。在不打開密封的情況下，檢査 人員應(yīng)當(dāng)能夠可視地檢査箱柜中的內(nèi)部內(nèi)容物。例如，在一個版本中，只 有一個或多個托盤850、 860用透光材料制成，然而兩個托盤850、 860的 整體也可以用透光材料制成。而且，外殼800a可以包括說明內(nèi)容物性質(zhì)和 與打開外殼800a相關(guān)的潛在危險的標(biāo)記。這種標(biāo)記可以設(shè)置在外殼800a 的透光材料的內(nèi)表面上。
合適的透光剛性材料是熱定型熱塑性塑料聚合體，如高密度聚乙烯，例如基于聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、乙二醇改性-聚對苯二甲酸乙二 醇酯(PETG)、定向聚對苯二甲酸乙二醇酯(O-PET)或者聚萘二甲酸乙 二醇酯(PEN)或其彼此的混合物或與其它樹脂的混合物。優(yōu)選地，透光 剛性材料是可模注的熱塑性塑料，它在受熱時軟化，形成模注形狀，如聚 對苯二甲酸乙二醇酯一乙二醇(PETG)，如由Palram， Ramat Yohanan， Israel制造的PAL-G片。托盤850、 860可以使用常規(guī)塑料模注技術(shù)用熱塑 性塑料材料的單個毛坯片模注成單個整體件。該毛坯片可以利用常規(guī)熱定 型技術(shù)和如真空輔助模、空氣輔助模、機(jī)械活塞輔助?；?qū)夏Ｖ惖脑O(shè) 備熱定型成熱固薄壁托盤。單模也可以用于制作托盤，并且模注托盤的各 部分可以切除，切除的托盤組裝形成具有三個或多個不同部分的外殼，如 圖9中所示。
有利地，外殼800a允許在不打開外殼或破壞密封的情況下可視檢査其 內(nèi)部內(nèi)容物。如果襯底架10斷裂或碎裂，則在如零件分配倉庫之類的中 間傳輸點處不打開外殼800a的情況下可以馬上發(fā)現(xiàn)該斷裂。期望在運送之 前在不打開和污染外殼的內(nèi)容物的情況下檢查具有封閉的封裝架10的傳 輸封裝802的狀態(tài)。在潛在不利環(huán)境中在不破壞密封的情況，外殼800a也 允許在通過邊界的國際傳輸期間海關(guān)官員根據(jù)更新的更加嚴(yán)格的海關(guān)檢驗 來檢査內(nèi)部內(nèi)容物，在該環(huán)境下可能導(dǎo)致架10在完成運輸之后完全廢 棄。外殼800a也允許易碎的襯底架IO從凈化室安全地傳輸?shù)叫蘩碓O(shè)備， 反之亦然，同時保持與外部環(huán)境的良好氣密密封。
傳輸封裝802也可以包括硬箱體870，該箱體870用于封閉外殼800a
(或此處所述的任意其它外殼版本)，進(jìn)行運輸，如圖6、 12A和12B中 所示的例子。箱體870包括具有內(nèi)部泡沫塊876的盒子874，該泡沫塊 876具有與外殼800a的外部形狀匹配的內(nèi)部輪廓或切割形狀，如圖6所 示。經(jīng)過輪廓加工的內(nèi)部泡沫塊876可以用彼此粘到一起形成所需切割形 狀的凈化室泡沫的單個塊制成。凈化室泡沫是高度壓縮的海綿狀聚乙烯泡 沫材料，如來自FP Technologies, Ventura, California的Zotefoam，s
"Plastazote LD-24"。凈化室泡沫通常具有多孔的開放分子結(jié)構(gòu)，例如具 有尺寸大約為10至IOO微米的孔。通常，箱體870在凈化室外部打開，并且盛有將封閉架10從箱體870 上去除的傳輸固定裝置200的外殼800a，如果需要則進(jìn)行清潔，然后載入 凈化室。由于陷入到泡沬塊876的孔中的氣體能夠排氣到凈化室環(huán)境中； 并且用于產(chǎn)生立體容器的泡沬塊之間的粘結(jié)層也能夠排氣或產(chǎn)生聚合污染 物顆粒，因此傳輸封裝不帶入凈化室。
盒子874通常包括用剛性材料(如塑料或金屬片)制成的頂壁877、 側(cè)壁878和底壁879。合適的剛性塑料包括用模注聚丙烯制成的箱體，例 如由Hardigg Indus., South Deerfield, Massachusetts制作的。盒子874的壁 878、 879、 877也可以用金屬鑲邊883進(jìn)行加強(qiáng)，例如鋁鑲邊。盒子874 也可以具有手柄880和輪子882,以利于封裝部件從運送車輛傳輸?shù)骄?生產(chǎn)設(shè)備或修修設(shè)備的凈化室，如圖12A和12B中所示。
現(xiàn)在將描述外殼800b的其他版本。在一個版本中，外殼800b包括凸 緣852a、 852b，該凸緣具有平行于圖7中所示縱軸和橫軸延伸的槽。托盤 850、 860的橫向凸緣852a、 852b可以包括數(shù)個孔855，螺釘或其他緊固件 856可以插過該孔，以將托盤850、 860彼此固定。由于外殼800b的長度 和寬度的組合距離大于圓周距離，所以橫向凸緣852a、 852b增大了凸緣密 封的接觸面積。同樣，橫向凸緣852a、 852b允許外殼在水平位置中去除， 提供內(nèi)部固定裝置200和架10的橫向接觸。
參照圖8，用于保持固定裝置200和架10的外殼800c的另一實施例 包括三個互鎖托盤，這三個托盤包括封閉固定裝置200的頂部托盤910、 中央托盤902和底部托盤903。每個托盤901-903都包括允許部分901-903 經(jīng)過緊固件(未示出)彼此結(jié)合的凸緣910。在本版本中，至少其中一個 圓周凸緣910也起到用于提升和移動帶有其內(nèi)容物的外殼800c的手柄的作 用。雙開外殼800c設(shè)置用于允許只打開頂部，以允許更容易接觸外殼的內(nèi) 容物。同樣，頂部能夠具有升高的加強(qiáng)條帶907，該條帶也起到支撐外殼 的底腳的作用。
如圖9至11中所示外殼800d的又一版本也包括三個托盤952、 954和 956，但是它們以不同方式結(jié)合在一起。參照圖9，頂部托盤952包括外部 凸緣958，該外部凸緣958為平的，并與第二托盤954的內(nèi)部凸緣960配合，該內(nèi)部凸緣960滑動到外部凸緣958中形成氣密密封。于是，外殼 800d的上結(jié)合點缺少向外延伸的凸緣。第二托盤954和第三托盤956通過 凸緣962和964結(jié)合，該凸緣從外殼向外和橫向延伸，并分別具有彎曲的 末端部分962a、 964a，該末端部分提供用于保持和移動外殼的把手。向外 延伸的凸緣962、 964允許至少三個人能夠同時提升外殼，如封裝重量超 過75磅的當(dāng)前OSHA規(guī)則所需要的那樣。通過使用例如沿著凸緣60°間 隔定位的六個直角轉(zhuǎn)彎緊固件951，分別在凸緣962、 964的扁平內(nèi)部部分 962b和964b處形成密封。另外，用與外殼800d相同材料制成的兩個加強(qiáng) 葉片953a、 953b可以環(huán)繞外殼800d的頂部和底部區(qū)域定位，以在這些區(qū) 域提供額外的強(qiáng)度。另外，托盤952、 954和956都可以用相同模具制 作，以節(jié)省生產(chǎn)成本，使如凸緣之類的部分切除，以形成如圖所示的三個 不同形狀。
在另一版本中，外殼也能夠具有凹陷的杯(cup) 974，以容納排氣端 口耦合裝置966，如圖IOB中所示。在本版本中，凹陷的杯974將尺寸加 工成安裝排氣端口耦合裝置966,從而耦合裝置966的頂部平面975與頂 壁967的頂表面976齊平。在外殼200的傳輸期間，凹陷的杯974保護(hù)耦 合裝置966并防止意外敲落型損傷。通過在常規(guī)模注裝置中與外殼同時模 注該杯來制作凹陷的杯974。在本版本中，夾緊的凸緣969接合安裝在頂 壁967的底表面977上的第一加強(qiáng)板972、和安裝在頂部托盤952的頂壁 967的頂表面976上的第二加強(qiáng)板973。
排氣端口耦合裝置966定位在頂部托盤952的頂壁967上。排氣端口 耦合裝置966足夠大，以允許常規(guī)Draeger氣體采樣管插入，該采樣管可 以用于篩選外殼中的氣體，例如用于探測有毒氣體。然而，其也不應(yīng)當(dāng)太 大，否則將從頂壁967突出太遠(yuǎn)。圖10A示出了排氣端口耦合裝置966的 示例性實施例，該耦合裝置包括組件(0適配器968，如NW-25適配 器；(ii)具有不銹鋼環(huán)的o形環(huán)密封件969; (iii)隔開板970;和 (vi)夾在組件頂部周圍的壓緊外殼971，所有這些都可從Nor-Cal products, Eureka, California獲得。通過將凸緣連接到晶片生產(chǎn)或整修設(shè)備 的典型"房屋"排氣洗滌系統(tǒng)上，排氣端口耦合裝置966允許將外殼中的空氣或其他氣體泵出。壓緊凸緣969與一個或多個加強(qiáng)板972、 973配 合，該加強(qiáng)板在內(nèi)部安裝和粘結(jié)到頂部托盤952的頂壁967上。在內(nèi)部安 裝的板972、 973較厚和較堅固，以加強(qiáng)結(jié)合，并可以是例如厚度為大約2 至20毫米的與外殼相同材料的圓板(如聚對苯二甲酸乙二醇酯-乙二 醇)。通過使用如McMasterCarr517A2PETG粘結(jié)劑之類的粘結(jié)劑，排氣 端口耦合裝置966的各個部件可以彼此粘結(jié)到一起，并粘結(jié)到凸緣969 上，以形成氣密密封。
清掃用氣體耦合裝置980定位在底部托盤956的側(cè)壁982上。清掃用 氣體耦合裝置980允許清掃用氣體從外部清掃氣體源(未示出)進(jìn)入外 殼。典型的清掃用氣體包括非活性氣體，如氮氣或氬氣，并起到在外殼 200中提供惰性或非活性環(huán)境以保護(hù)架IO不暴露到外部環(huán)境中的作用。圖 10示出了清掃用氣體耦合裝置980的示例性實施例，該耦合裝置包括 (i)防旋轉(zhuǎn)支架981，它在標(biāo)準(zhǔn)使用下無法輕易移動，并通過螺釘983連 接；(ii)常規(guī)VCR型裝配件984; (iii)表面密封板和墊圈986;及 (iv)將組件保持在一起的螺母988，所有這些都可從Swagelok， Solon， Ohio獲得。內(nèi)部氣體導(dǎo)向板992將形狀加工成將流入的清掃用氣體向下朝 外殼800d的內(nèi)部的底部導(dǎo)向，如箭頭994所示，以防止清掃用氣體直接 碰撞在固定裝置200或架10上。將清掃用氣體直接吹到這些部件上能夠 去除顆粒和松脫的易碎涂層。外部安裝的加強(qiáng)板994設(shè)置用于加強(qiáng)該組 件。各個部件可以用如前所述的粘結(jié)劑密封。
本發(fā)明已經(jīng)參照其某些優(yōu)選版本進(jìn)行了描述；然而，其他版本也是可 能的。例如，傳輸封裝802和傳輸固定裝置200可以用于其它類型的應(yīng) 用，如本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的那樣，例如傳輸其他易碎處理部件。傳輸固 定裝置200的其他構(gòu)造也可以用于適應(yīng)處理部件的形狀和尺寸。例如，端 板210a、 210b的形狀可以加工成除了三角形或框架之外的形狀，例如方 形、六角形或者甚至圓形板或框架。外殼800a-800d也可以用其它材料制 作，或者具有由不透明材料環(huán)繞的透明材料的小窗口。箱體870也可以具 有其他形狀，例如圓柱形，并可以用鋼或其他金屬制作。因此，所附權(quán)利 要求的精神和范圍不應(yīng)當(dāng)局限于此處所含優(yōu)選版本的描述。
權(quán)利要求1.一種傳輸外殼，其特征在于，包括(a)第一托盤，其具有封閉末端和帶有第一圓周凸緣的開放末端，所述第一托盤的至少一部分包括透光材料；(b)第二托盤，其包括封閉末端和帶有第二圓周凸緣的開放末端，并且所述第二圓周凸緣與所述第一圓周凸緣配合，使得所述第一托盤和所述第二托盤的所述開放末端彼此面對；及(c)所述第一圓周凸緣和所述第二圓周凸緣之間的密封墊圈，以在所述第一圓周凸緣和所述第二圓周凸緣之間形成密封。
2. 如權(quán)利要求1所述的外殼，其特征在于，所述第一托盤和所述第二 托盤包括圓柱體。
3. 如權(quán)利要求1所述的外殼，其特征在于，所述圓周凸緣從所述外殼 向外橫向延伸。
4. 如權(quán)利要求1所述的外殼，其特征在于，還包括排氣端口耦合裝置 和清掃用氣體耦合裝置。
5. 如權(quán)利要求1所述的外殼，其特征在于，還包括清掃用氣體耦合裝置。
6. 如權(quán)利要求1所述的外殼，其特征在于，還包括所述第一托盤和所 述第二托盤上的表面，其中所述表面包括小于IO微英寸的表面粗糙度。
專利摘要本實用新型提供一種傳輸外殼，其包括第一托盤，其具有封閉末端和帶有第一圓周凸緣的開放末端，所述第一托盤的至少一部分包括透光材料；第二托盤，其包括封閉末端和帶有第二圓周凸緣的開放末端，并且所述第二圓周凸緣與所述第一圓周凸緣配合，使得所述第一托盤和所述第二托盤的所述開放末端彼此面對；及所述第一圓周凸緣和所述第二圓周凸緣之間的密封墊圈，以在所述第一圓周凸緣和所述第二圓周凸緣之間形成密封。
文檔編號B65D85/30GK201132651SQ20072014747
公開日2008年10月15日 申請日期2006年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月3日
發(fā)明者羅納爾·維恩·肖爾 申請人:應(yīng)用材料公司