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      自帶傳感器的壓電疊堆泵的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:5442620

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      本實用新型屬于微流體傳輸與控制領(lǐng)域應(yīng)用微小型壓電液壓泵,具體涉及一種自帶傳感器的精密型壓電疊堆泵。背景技術(shù)利用壓電疊堆,也稱疊堆型壓電振子在電場作用下產(chǎn)生的伸縮變形,人們提出了多種結(jié)構(gòu)的疊堆型壓電液壓泵,簡稱壓電疊堆泵,如中國專利200810050240. 7、中國專利 200810064461. X及中國專利200910146813. 0等。同傳統(tǒng)的機(jī)械式液壓泵相比,壓電疊堆泵具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、無電磁干擾、流量/壓力可控性好等諸多優(yōu)勢,因此在醫(yī)療、化...
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