技術(shù)編號：5443865
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及渦輪分子泵及渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子的制造方法。背景技術(shù)渦輪分子泵用于半導(dǎo)體制造裝置、分析裝置等的真空排氣。例如，在測量精度、加工精度要求非常高的電子顯微鏡、曝光裝置等中，由于裝置的溫度變化給精度帶來了影響，因此要進(jìn)行嚴(yán)格的溫度管理。專利文獻(xiàn)1 日本特開2005-337071號公報但是，在渦輪分子泵中，由于轉(zhuǎn)子處于真空中，因此由導(dǎo)熱產(chǎn)生的散熱非常少。因此，由于伴隨著氣體排出而產(chǎn)生的發(fā)熱、電動機(jī)等的發(fā)熱，轉(zhuǎn)子溫度易于上升。在能經(jīng)由泵進(jìn)氣口從裝置側(cè)直接看到溫...
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