技術(shù)編號(hào)：5450477
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種摩擦式真空泵，包括定子和轉(zhuǎn)子，它們構(gòu)成至少兩個(gè)各有一氣體進(jìn)口的泵級(jí)，以及包括泵級(jí)的連接裝置，連接裝置配備有連接口并用于將泵級(jí)的氣體進(jìn)口與要抽真空的設(shè)備連接起來。由DE-A-4331589已知這種類型的摩擦式真空泵。它優(yōu)選地用于粒子輻射儀(例如質(zhì)譜儀)抽真空，粒子輻射儀有用遮擋板彼此分開的腔，在粒子輻射儀工作時(shí)這些腔內(nèi)應(yīng)存在不同的壓力。眾所周知，為了造成這些壓力采用單獨(dú)的真空泵。DE-A-4331589公開了只借助一個(gè)真空泵系統(tǒng)產(chǎn)生粒子輻射儀需...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。