技術(shù)編號：5457297
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及真空泵，特別是一種直排大氣的多級羅茨真空泵。 背景技術(shù)IC裝備行業(yè)是國家發(fā)展戰(zhàn)略的重要行業(yè)。在IC裝備行業(yè)中，70%的工作需 要在對潔凈度要求苛刻的真空環(huán)境下進行，例如化學氣相沉積、離子注入、蒸發(fā)、 濺射、外延生長、刻蝕、封裝、檢測等。在每一條IC生產(chǎn)線中，都要應用大量獲 得與維持清潔真空環(huán)境的干式真空獲得設備。以一條月產(chǎn)2.5萬片8英寸晶圓片 的中檔工藝IC生產(chǎn)線為例，通常需用各種干式真空泵上千臺，投資占設備投資的 20%左右。作為IC裝備的關(guān)...
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