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      一種雙腔式壓電微型泵的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):5470224

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      一種雙腔式壓電微型泵,包括蓋體、與蓋體固定配合并與形成泵腔的殼體、以及位于泵腔內(nèi)的泵芯組件,蓋體上設(shè)有第一定位凸起和第一預(yù)壓部,殼體上設(shè)有第二定位凸起和第二預(yù)壓部;泵芯組件包括由固定在泵腔內(nèi)的主支座、與主支座固定配合的副支座、安裝在主支座上的第一彈性密封圈、安裝在副支座上的第二彈性密封圈、邊緣周圍預(yù)壓在第一彈性密封圈上并抵頂?shù)谝活A(yù)壓部的第一壓電振子,邊緣周圍預(yù)壓在第二彈性密封圈上并抵頂?shù)诙A(yù)壓部的第二壓電振子、安裝在主支座上的第一入口閥和第一出口閥、以及安...
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