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      小型風(fēng)冷油擴(kuò)散泵的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):5487389

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      本實(shí)用新型涉及真空機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種真空泵,具體為一種小型風(fēng)冷油擴(kuò)散泵。 背景技術(shù)油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備,廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn) 和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。通常的油擴(kuò)散泵采用水冷卻系統(tǒng),主要由泵體、擴(kuò)散 噴嘴、噴射噴嘴、蒸氣導(dǎo)管、油鍋、加熱器、水冷卻系統(tǒng)和前級(jí)擋油器部分組成。當(dāng)油擴(kuò)散泵 用前級(jí)泵預(yù)抽到低于7帕真空時(shí),油鍋可開始加熱。油沸騰時(shí)沿蒸氣導(dǎo)管上升至噴嘴處噴 出高速的油蒸氣射流,被抽氣體分子擴(kuò)散到蒸氣射流中,...
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