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      一種高真空直排大氣真空泵的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):5487600

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      本實(shí)用新型屬抽真空,具體說(shuō)是關(guān)于能夠達(dá)到高真空,直排大氣的干式真空泵 技術(shù)。背景技術(shù)近年來(lái),人們已研制了多種類型的干泵,廣泛用于半導(dǎo)體工業(yè)、分析儀器、電子工業(yè)和 化工行業(yè)等真空應(yīng)用的各個(gè)領(lǐng)域。干泵或干泵機(jī)組維護(hù)簡(jiǎn)單、清潔無(wú)油,經(jīng)常是真空獲得設(shè) 備中首選的主泵。比如,半導(dǎo)體行業(yè)中的真空室中, 一般需要達(dá)到10—^a或者更低的真空度, 這時(shí)就需要為它們配置高真空機(jī)組。一般說(shuō)來(lái),為了獲得清潔高真空,人們通常會(huì)選用高真空泵,如分子泵、擴(kuò)散泵+冷阱, 但這些高真空泵...
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