技術(shù)編號：5492048
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種真空泵并且特別是一種復(fù)合真空泵，其帶有多個端口，適于對多個腔室進行差分抽吸。在差分抽吸質(zhì)量分光計系統(tǒng)中，將試樣和載氣導(dǎo)入質(zhì)量分析器進行分析。一個這樣的實例在附圖說明圖1中給出。參考圖1，在該系統(tǒng)中，存在高真空腔室10，其緊隨第一和第二真空接口腔室12、14。第一接口腔室12是真空分光計系統(tǒng)中的最高壓力腔室并且可包含小孔或毛細管，通過其將離子從離子源抽入第一接口腔室12。第二、中間腔室14可具有離子光學(xué)器件以用于引導(dǎo)離子從第一接口腔室12進入高...
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