技術編號：5529644
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及玻璃真空鍍膜，特別涉及一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥。背景技術用于玻璃鍍膜工藝的真空設備中，真空插板閥是任意兩個相鄰真空室之間必不可少的組成部件，其作用是當需要對單個真空室進行維護或者在單個真空室內(nèi)更換材料時，將相鄰兩個真空室隔絕，使真空室內(nèi)的真空氣氛不被破壞。目前常用的真空插板閥為翻板式結構，即在真空室內(nèi)的工件通孔處設置真空插板閥，該真空插板閥主要為一個擋板，擋板頂部與真空室內(nèi)的頂面鉸接，當真空插板閥關閉時，擋板下翻，其側面擋住工件通孔而實現(xiàn)密...
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