技術(shù)編號：5536169
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種多自由度電磁阻尼器，屬于電機(jī)。背景技術(shù)在光刻機(jī)裝置中，存在較多的運(yùn)動部件，如掩模臺動子、硅片臺動子以及平衡質(zhì)量塊等，為了減小在運(yùn)動部件運(yùn)動過程中的振動以及為了快速衰減不希望出現(xiàn)的多余運(yùn)動，通常需要電磁阻尼器。在其它運(yùn)動控制領(lǐng)域中，為了快速衰減兩個運(yùn)動體之間的運(yùn)動，也可以采用電磁阻尼器。 電磁阻尼器通常由能夠產(chǎn)生磁場的永磁體或電磁鐵與具有良好導(dǎo)電性的導(dǎo)體板構(gòu)成，當(dāng)二者之間存在相對運(yùn)動時，會在導(dǎo)體板中感應(yīng)渦流。渦流與永磁體磁場之間相互作用，會產(chǎn)生...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。