技術(shù)編號：5598631
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種高溫爐，具體地說是一種單晶爐，特別是涉及一種單晶爐的傳動軸。背景技術(shù)單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。單晶爐拉制單晶硅棒時(shí)，盛裝多晶硅塊等原料的石英坩堝放入位于堝托之上的石墨或C/C坩堝內(nèi)，在保護(hù)性氣氛中加熱熔化(爐內(nèi)最高溫度高達(dá)1600°C左右)，調(diào)控到工藝溫度后，籽晶經(jīng)導(dǎo)流筒插入熔融多晶硅液中引晶，坩堝放在堝托上由其下的傳動軸帶動一同旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，籽晶也逆向旋轉(zhuǎn)并向上提升，使...
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