技術(shù)編號：5640666
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一桿式雙軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)技朮領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，尤其是涉及一種用于電子制造業(yè)、STM行業(yè)、太陽 能、半導(dǎo)體以及半導(dǎo)體封裝業(yè)的檢測方面的一桿式雙軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。背景技朮現(xiàn)有市場出現(xiàn)有各種各樣的用于電子制造業(yè)、STM行業(yè)、太陽能、半導(dǎo)體以及半導(dǎo) 體封裝業(yè)的檢測方面的雙軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其大部分的雙軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)都是采用分布獨(dú)立驅(qū)動(dòng)X 軸電機(jī)及Y軸電機(jī)運(yùn)動(dòng)，或者采用手動(dòng)的方式單獨(dú)調(diào)節(jié)X軸電機(jī)或者Y軸電機(jī)運(yùn)動(dòng)的方式 實(shí)現(xiàn)的。由于采用手動(dòng)方式或者單獨(dú)分別控制所示的X軸電機(jī)及...
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