技術編號：5648144
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及半導體生產(chǎn)中工藝氣體供應設備，尤其涉及一種氣體閥裝置。 背景技術在半導體生產(chǎn)工藝中需要大量的瓶裝特殊(有毒)高純氣體四十余種，由于傳統(tǒng) 的手動閥需要人工調(diào)節(jié)閥門開關，導致有毒氣體對人體產(chǎn)生危害；而電磁閥由電氣自動控 制系統(tǒng)控制閥門的開關，不需人工操作。因此，電磁閥在半導體生產(chǎn)工藝氣體供應設備中得 到了廣泛的應用。關于現(xiàn)有的電磁閥的結(jié)構(gòu)請參考圖1至圖2，其中，圖1為現(xiàn)有的電磁閥結(jié)構(gòu)的正 視圖，圖2為現(xiàn)有的電磁閥結(jié)構(gòu)的俯視圖，如圖1至圖2所示，現(xiàn)...
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