技術(shù)編號(hào)：5736711
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及流體流動(dòng)系統(tǒng)、閥以及閥系統(tǒng)，尤其是包括量子閥 (quantum valve )的量子流體(quantum fluid )控制系統(tǒng)，其中,所述量子閥可以與換向閥結(jié)合，用于控制和操作執(zhí)行機(jī)構(gòu)或執(zhí)行機(jī)構(gòu)系統(tǒng)，優(yōu)選 是在微小型環(huán)境例如MEMS環(huán)境中。背景技術(shù)模擬閥和數(shù)字閥是眾所周知的。通常，模擬閥通過打開和關(guān)閉閥門來 調(diào)節(jié)流動(dòng)，直至實(shí)現(xiàn)預(yù)期的流速。有些模擬閥能通過旋轉(zhuǎn)閥桿來手動(dòng)調(diào)節(jié)。 另外一些模擬閥能通過電動(dòng)、氣動(dòng)或液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)來自動(dòng)調(diào)節(jié)，所述執(zhí)行 機(jī)構(gòu)...
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