技術(shù)編號(hào):5740532
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的用于氣密地密封流路的真空闊以及根據(jù)權(quán)利要求12的前序部分的封閉板,該真空閥包括可移除地安裝在至少一個(gè)推力桿上的封閉板。 背景技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)的各種實(shí)施方式中公知用于基本氣密地密封通向形成在 閥殼體中的開(kāi)口的流路的真空閥。在必須在不存在污染顆粒的盡可能受保護(hù)的環(huán)境下進(jìn)行的IC和半導(dǎo)體制造的領(lǐng)域內(nèi),尤其要使用真空閘閥。 例如在半導(dǎo)體晶片或液晶基板的生產(chǎn)廠內(nèi),高度敏感的半導(dǎo)體或液晶元 件順序通過(guò)多個(gè)處理室,在這些處理室內(nèi),分...
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