技術(shù)編號：5792803
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及當利用真空泵對真空容器進行真空排氣時，以對排氣系統(tǒng)進行切換等為目的所使用的真空閥以及構(gòu)成該真空閥的框體。背景技術(shù)以往，作為真空用閥，例如在專利文獻1中有所公開。通常如圖1所示，這種閥構(gòu)成為如下的真空用閥其具備通過活塞桿1而在中空圓筒狀的框體2內(nèi)的長度方向上移動的閥體3，并在框體2的長度方向的端面具備通過閥體3開閉的排氣口 4，在框體2的側(cè)面立起設(shè)置有具備凸緣部的中空圓筒體5，并在其端面形成成為排氣口的開口面6，內(nèi)部流路為L型。在如上所述地在框體2...
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