技術(shù)編號：5794704
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在真空排氣管路中設(shè)置的真空排氣用的球閥和真空排氣裝置。 背景技術(shù)對于進(jìn)行半導(dǎo)體制造的真空處理裝置，例如在處理氣氛下使用石英的情況下，為了防止劇烈的應(yīng)力作用在石英制品上而導(dǎo)致其破損，從大氣氣氛開始首先進(jìn)行緩慢排氣， 在一定程度地減壓后，進(jìn)行通常排氣，而對處理容器內(nèi)進(jìn)行抽真空。因此，采用如圖18所示的構(gòu)造，利用緩慢排氣用的旁通管路103將與處理容器100連接的排氣管101的主閥(隔離閥)102的上游一側(cè)和下游一側(cè)之間旁路連通，在該旁通管路103中...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。