技術(shù)編號：5795109
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種空氣靜壓止推軸承，主要用于光刻機、三坐標(biāo)測量機等設(shè)備中運 動部件的設(shè)計，屬于超精密運動、超精密測量。背景技術(shù)空氣靜壓止推軸承具有無磨損、摩擦小、低速無爬行、運動精度高等一系列優(yōu)點， 故廣泛應(yīng)用于超精密運動、精密測量領(lǐng)域，但同時也存在剛度低、承載能力小、穩(wěn)定性差的 缺點。增大供氣壓力、改變氣腔形狀、添加真空或電磁預(yù)載等手段可以有效提高空氣軸 承的承載能力和剛度，但對軸承穩(wěn)定性的提高作用并不明顯。這是因為現(xiàn)有空氣靜壓止推 軸承結(jié)構(gòu)中，高壓氣體經(jīng)小...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。