技術(shù)編號：5801589
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種主動減振系統(tǒng)，尤其涉及了一種用于步進光刻機使用了 預(yù)見控制的主動減振系統(tǒng)背景技術(shù)超精密的主動減振系統(tǒng)是許多高科技技術(shù)與產(chǎn)品開發(fā)的^S^出，因而一直受到各國的高度重視。隨著超微細加工與裝配技術(shù)、超精密測量技術(shù)的發(fā)展， 微振動的影響變得更加突出。步進掃描光刻機在工作過程中，由于工件臺和 掩模臺等分系統(tǒng)具有較高的運動加速度和運動速度，運動部件在運動過程中 產(chǎn)生的反作用力，以及傾覆力矩將引起光刻機核心部分振動，從而影響曝光質(zhì)量。現(xiàn)代步進掃描光刻機針對...
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