技術(shù)編號(hào)：5812081
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氣體生產(chǎn)，特別是涉及一種儲(chǔ)氣鋼瓶純化方法和系統(tǒng)。 背景技術(shù)在光伏器件的制造和半導(dǎo)體器件制造的過程中會(huì)用到多種反應(yīng)氣體，例如在利用化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝沉積薄膜時(shí)。在薄膜太陽(yáng)能電池的制造過程中也會(huì)使用大量的硅烷(SiH4)氣體和鍺烷(GeH4)氣體，利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)工藝沉積各種非晶硅、微晶硅和納米硅、非晶鍺以及非晶硅鍺薄膜。鍺烷是有毒、易燃和無色的氣體。在室溫和大氣壓力下，具有特有的刺激性氣味。 鍺烷的熱穩(wěn)定性比硅烷差...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。