技術(shù)編號：5812695
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明要求于2010年9月15日提交的美國臨時專利申請?zhí)?1/383204以及于2010年9月16日提交的美國臨時專利申請?zhí)?1/383533的優(yōu)先權(quán)，這些申請的全部內(nèi)容出于所有的目的通過引用結(jié)合在此，本發(fā)明涉及一種處于多個組裝的滑動件的形式用于氟生產(chǎn)的設(shè)備以及其中應(yīng)用它的一種方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體、光電池、薄膜晶體管(TFT)液晶顯示器、以及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的制造過程中，經(jīng)常在合適的腔室中進(jìn)行連續(xù)沉積材料的多個步驟以及蝕刻對應(yīng)的物品；這些過程通常是...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。