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      圖案檢查裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:5820709

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      本發(fā)明涉及一種用于檢査呈多列配置的導(dǎo)電圖案的圖案檢査裝置。背景技術(shù)在液晶面板中,將被稱為柵極線及Cs線的導(dǎo)電圖案呈多列配置的 第一層、以及被稱為源極線的導(dǎo)電圖案呈多列配置的第二層進行疊加。 此時,源極線與柵極線及Cs線交叉配置,在第一層和第二層之間設(shè)置 有絕緣層,可防止源極線與柵極線及Cs線的電性連接。但是,在制造 過程中,在絕緣層上會產(chǎn)生微小的孔,即產(chǎn)生所謂的針孔,這樣,源 極線與柵極線及Cs線有時會產(chǎn)生電性連接(短路)。在上述不同層之 間的導(dǎo)電圖案的短...
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