技術(shù)編號：5820898
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是基于雙端激勵/雙端檢測的原理設(shè)計一種對稱驅(qū)動和檢測的電容拾 振結(jié)構(gòu)，屬于微機械系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計和檢測。背景技術(shù)微型電子機械系統(tǒng)(Micro-elec加mechanical System, MEMS)/納機電系統(tǒng) (Nano-electro mechanical System, NEMS)諧振器的振動檢測一直是MEMS領(lǐng)域研 究的重點。靜電激勵電容拾振的MEMS/NEMS諧振器是一種常用的諧振器，分 為單端器件和雙端器件。在MEMS領(lǐng)域，電容拾振屬于微弱...
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